對于體積小、放氣速率和漏氣速率都小的被檢件可直接與檢漏儀的外接法蘭連接進行檢漏，不需要真空系統。對于漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連接時，檢漏儀的真空度可能抽不上去，使檢漏儀無法工作。要在此種情況下進行檢漏，只有調節節流閥，使之稍稍開啟，但這又會使反應時間延長。此外，被檢件初次抽真空時，其中的水氣、油蒸氣等都可能污染檢漏儀，因此也需要有真空系統。

       真空系統由前級泵、次級泵、閥門、真空規及標準漏孔等組成。次級泵可用擴散泵或羅茨泵(是否需要次級泵視具體情況而定)，前綴泵還是用氣鎮式機械泵比較好。

       有些檢漏儀本身帶有一系列閥門，借助于這些閥門便可用檢漏儀的抽氣系統對小型的、放氣與漏氣也不大的被檢件完成預抽和檢漏工作，而不需另加真空系統。但是，從保持檢漏儀靈敏度的穩定性的觀點來看，還是不要用儀器本身的真空泵進行預抽比較好。些檢漏儀附有一個真空系統，使用時較為方便。