真空泵的工作原理
真空泵的工作原理基于通過機械、物理或化學方法將氣體分子從封閉空間中抽出,以達到降低氣壓的目的。不同類型的真空泵使用的原理不同,以下是一些常見的真空泵及其工作原理:
旋轉葉片泵:旋轉葉片泵利用一個旋轉的軸上固定的一組葉片,以機械方式將氣體分子從進氣口抽出,并通過排氣口排出。當旋轉葉片旋轉時,進入泵腔的氣體分子被強制移動,并被葉片推到泵腔壁上。由于泵腔內的容積在逐漸縮小,被推到泵腔壁上的氣體分子被逐漸壓縮,最終排出泵腔。
根式泵:根式泵利用兩個葉輪的相互作用,以機械方式將氣體分子從進氣口抽出,并通過排氣口排出。根式泵包括一個外部輪和一個內部輪,兩個輪之間的空間不斷變小。當內部輪轉動時,氣體分子被強制從進氣口進入并在外部輪和內部輪之間移動。由于兩個輪之間的空間逐漸縮小,氣體分子被逐漸壓縮并排出泵腔。
渦流泵:渦流泵利用渦流的原理將氣體分子從進氣口吸入,并通過排氣口排出。當電流通過渦流泵的線圈時,產生了一個交變磁場,這將導致氣體分子在泵腔內形成渦流。渦流產生的離心力將氣體分子推到泵腔的周圍,并通過泵腔壁上的出口排出。
吸氣式泵:吸氣式泵利用高速旋轉的葉輪將氣體分子從進氣口吸入,并通過排氣口排出。當氣體分子進入吸氣式泵時,它們與旋轉的葉輪相互作用,形成氣體流。隨著葉輪旋轉,氣體分子被迫向泵腔的外緣移動,并通過排氣口排出。